樣品引入系統(tǒng)是分析起點(diǎn)，主要包括蠕動(dòng)泵、霧化器、霧室。液體樣品經(jīng)蠕動(dòng)泵穩(wěn)定輸送至霧化器，在高純氬氣作用下形成微米級(jí)氣溶膠；霧室通過(guò)重力沉降去除大液滴，僅保留細(xì)小、均勻的氣溶膠進(jìn)入等離子體，保證離子化效率。部分機(jī)型還可搭配激光進(jìn)樣模塊，直接分析固體樣品。

 

ICP 離子源是儀器的 “離子化核心”，由炬管、射頻線圈、氬氣供給系統(tǒng)構(gòu)成。炬管為三層同心石英管，外層通入冷卻氬氣保護(hù)炬管，中層為輔助氬氣，中心通道為載氣與樣品氣溶膠。射頻發(fā)生器在線圈上產(chǎn)生高頻電磁場(chǎng)，激發(fā)氬氣形成 6000–10000 K 的高溫等離子體。樣品氣溶膠在此環(huán)境中快速去溶劑、原子化、電離，絕大多數(shù)金屬與部分類金屬元素轉(zhuǎn)化為單電荷正離子，為后續(xù)檢測(cè)奠定基礎(chǔ)。

 

接口與離子傳輸系統(tǒng)負(fù)責(zé)將常壓等離子體中的離子導(dǎo)入高真空質(zhì)譜腔，關(guān)鍵部件為采樣錐和截取錐。兩級(jí)錐孔實(shí)現(xiàn)氣壓逐級(jí)降低，離子透鏡組通過(guò)靜電場(chǎng)聚焦離子束，濾除中性粒子、光子與未電離物質(zhì)，減少背景干擾，提升離子傳輸效率。

 

質(zhì)量分析器與檢測(cè)器完成元素的定性與定量。主流四極桿質(zhì)量分析器通過(guò)調(diào)節(jié)直流與射頻電壓，精準(zhǔn)篩選不同質(zhì)荷比（m/z）的離子，按順序通過(guò)；高分辨機(jī)型采用磁扇形或飛行時(shí)間分析器，可有效區(qū)分多原子離子干擾。檢測(cè)器以電子倍增器為主，將離子信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，強(qiáng)度與元素含量成正比，經(jīng)數(shù)據(jù)系統(tǒng)處理后得到元素濃度與譜圖。

 

真空系統(tǒng)、氣路控制系統(tǒng)與軟件系統(tǒng)保障儀器穩(wěn)定運(yùn)行，全程自動(dòng)化控制流量、溫度、電壓與真空度。整體而言，ICP-MS 憑借高溫高效電離、高選擇性質(zhì)量篩選、超高靈敏度檢測(cè)的協(xié)同作用，實(shí)現(xiàn) ppt 至亞 ppt 級(jí)超痕量元素分析，成為現(xiàn)代無(wú)機(jī)分析中靈敏度最高、應(yīng)用最廣的技術(shù)之一。